商品编码 84798999.57   (增)
商品名称 微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)设备,具有以下所有特性:专门设计或制造的MPCVD设备,微波功率在10千瓦以上,且微波频率为915兆赫或2450兆赫。
商品描述
英文名称 The microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) equipment has all the following characteristics: specially designed or manufactured MPCVD equipment, microwave power above 10 kilowatts, and microwave frequency of 915 megahertz or 2450 megahertz.
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